TiO2氧空位形成的影响因素
来源期刊：材料科学与工艺2012年第2期
论文作者：李泽全 胡蓉 郭晶 茹黎月 王海华
文章页码：80 - 85
关键词：氧空位;TiO2;烧结;Ar+刻蚀;
摘 要：为了研究TiO2氧空位形成的影响因素,用管式电阻炉在空气、Ar及不同温度下对TiO2烧结.采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）对烧结TiO2样品的微观形貌、物相组成、元素及价态进行了表征,研究了烧结温度、烧结气氛和Ar+刻蚀对TiO2样品氧空位形成的影响.结果表明:相同气氛下,随着烧结温度的升高,TiO2氧空位浓度逐渐增大;相同温度下,惰性气氛有利于TiO2氧空位的产生;Ar+刻蚀有利于TiO2氧空位的形成.
李泽全，胡蓉，郭晶，茹黎月，王海华
重庆大学化学化工学院
摘 要：为了研究TiO2氧空位形成的影响因素,用管式电阻炉在空气、Ar及不同温度下对TiO2烧结.采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）对烧结TiO2样品的微观形貌、物相组成、元素及价态进行了表征,研究了烧结温度、烧结气氛和Ar+刻蚀对TiO2样品氧空位形成的影响.结果表明:相同气氛下,随着烧结温度的升高,TiO2氧空位浓度逐渐增大;相同温度下,惰性气氛有利于TiO2氧空位的产生;Ar+刻蚀有利于TiO2氧空位的形成.
关键词：氧空位;TiO2;烧结;Ar+刻蚀;
