铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究

吴义成¹，方勋华¹，黄伯云¹，扈百直¹，张树高¹

(1.中南工业大学粉末冶金国家重点实验室,湖南,长沙,410083)

摘要:用化学共沉淀法制备了铟锡氧化物(ITO)复合粉末.粉末经冷等静压成型后进行热等静压致密化.热等静压时采用碳钢作包套,采用铜箔作隔层.实验研究了热等静压工艺参数--保温温度、保压压力和保温时间对ITO陶瓷靶材致密化的影响.实验结果表明:靶材的相对密度在大约1000℃处有一峰值;相对密度随压力增加而增加;当保温温度较低时,适当延长保温时间有利于提高密度;当保温温度较高时,延长保温时间反而使密度降低.分析了ITO在高温下的分解行为以及这种行为对致密化的作用.还分析了ITO复合粉末部分脱氧使ITO陶瓷半导化的机理.

关键词:钢铝氧化物; 陶瓷靶材; 热等静压; 致密化;

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