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金属诱导晶化法制备多晶硅薄膜研究进展

来源期刊：材料科学与工程学报2002年第1期

论文作者：韩高荣翁文剑王瑞春杜丕一赵高凌张溪文何智兵沈鸽

关键词：金属诱导; 非晶硅; 多晶硅; 薄膜;

摘要：本文介绍了金属诱导晶化非晶态硅制备多晶硅薄膜的新方法,综述了制备金属/非晶态硅复合薄膜的各种方法与晶化结果,着重介绍了金属低温诱导的机理及其在器件应用方面的可行性.

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韩高荣¹，翁文剑¹，王瑞春¹，杜丕一¹，赵高凌¹，张溪文¹，何智兵¹，沈鸽¹

(1.浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027)

摘要:本文介绍了金属诱导晶化非晶态硅制备多晶硅薄膜的新方法,综述了制备金属/非晶态硅复合薄膜的各种方法与晶化结果,着重介绍了金属低温诱导的机理及其在器件应用方面的可行性.

关键词:金属诱导; 非晶硅; 多晶硅; 薄膜;

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