聚酯改性硅漆与硅半导体界面带电规律的研究

唐恕¹，李仰平¹，李子叶¹，王铮¹

(1.西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室,陕西西安,710049)

摘要:研究电介质与半导体之间的接触带电、带电规律和带电控制,可有效地控制电力电子器件表面绝缘保护材料与半导体表面相互作用而形成的不同界面态和界面电荷,优化台面型电力电子器件表面空间电荷区宽度、表面电场分布,提高表面耐压.对加入不同填料的聚酯改性硅漆(SP),测量其与表面氧化和表面钝化的n型和p型硅片接触后表面带电极性和带电量,得出一个接触带电序列.接触带电序列表明,绝缘保护材料与各种硅片的接触,实质上是保护材料与硅片表面物质的接触,与硅片的类型和内部结构无关.

关键词:硅半导体器件; 接触带电; 绝缘保护; 聚酯改性硅漆;

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