新型酞菁有机半导体材料的制备及气敏性研究

李赞^1,2，吴晓宏¹，姜文锐³，施云波⁴

1. 哈尔滨工业大学理学院2. 哈尔滨学院生命科学与化学学院3. 哈尔滨工业大学机电工程学院4. 哈尔滨理工大学测控技术与通讯工程学院

摘 要：针对无机半导体气体传感器材料可修饰性差、工作温度高等缺点,开展了新型金属酞菁类有机半导体气敏材料的研究,并对敏感材料进行了表征,测试结果与化学结构和理论值一致.采用微电子工艺制备平面叉指电极,采用旋涂技术,在叉指电极上形成敏感膜,对制备的旋涂膜进行红外光谱（IR）和原子力扫描电镜（AFM）表征,AFM图像表明薄膜表面均匀、平滑和致密.按照静态法测试了薄膜对NO2气体的气敏特性,结果表明,在室温和50℃时质量浓度为6.5 mg/mL的PbPc（iso-PeO）8旋涂膜相较于CuPc（iso-PeO）8、NiPc（iso-PeO）8旋涂膜表现出对NO2气体更好的敏感性和响应恢复性.

关键词：有机半导体;气敏材料;NO2;