用化学溶液沉积方法制备Pr0.7Ca0.3MnO3薄膜
来源期刊：无机材料学报2004年第5期
论文作者：王群 陈立东 董睿
关键词：混合价锰氧化物; 薄膜; 化学溶液沉积法;
摘 要：混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3 薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜, 降低了材料成本; 前驱体中不使用鳌和剂, 简化了工艺.采用XRD、FT-IR、SEM、AFM、EPMA以及俄歇探针仪等方法对所制备的薄膜进行了表征.结果表明, 实验中以较低的温度实现了PCMO钙钛矿结构的晶化; 薄膜平整光滑致密, 各组分分布均匀, C杂质含量处于很低的水平.
王群1，陈立东1，董睿1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷与超微结构国家重点实验室,上海,200050)
摘要:混合价态的锰氧化物Pr1-xCaxMnO3 薄膜是近年来国际上超导体以及巨磁电阻领域的研究热点之一.本文采用化学溶液沉积方法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备出Pr1-xCaxMnO3薄膜, 降低了材料成本; 前驱体中不使用鳌和剂, 简化了工艺.采用XRD、FT-IR、SEM、AFM、EPMA以及俄歇探针仪等方法对所制备的薄膜进行了表征.结果表明, 实验中以较低的温度实现了PCMO钙钛矿结构的晶化; 薄膜平整光滑致密, 各组分分布均匀, C杂质含量处于很低的水平.
关键词:混合价锰氧化物; 薄膜; 化学溶液沉积法;
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