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真空液相重结晶法改善InSb薄膜的组织和性能

来源期刊:工程科学学报1997年第6期

论文作者:王元玮 田跃 汪亮明 和文国

文章页码:585 - 1176

关键词:真空重结晶;薄膜制备;InSb薄膜;

摘    要:利用真空下氩气保护液相重结晶的方法,对热蒸镀和磁控贱射制得的Insb薄膜进行热处理.X射线衍射和组织分析的结果表明:热处理前薄膜为Insb,In,Sb各相的混合物;重结晶后,基本为InSb单相,InSb晶粒呈规则状外形长大.热处理后室温下的电子迁移率大大提高,由原来的1.31×104cm2/(V·s)提高到4.47×104cm2/(V·s)(热蒸镀)和2.15×103cm2/(V·s)提高到2.04×104cm2/(V·s)(磁控溅射).

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真空液相重结晶法改善InSb薄膜的组织和性能

王元玮,田跃,汪亮明,和文国

摘 要:利用真空下氩气保护液相重结晶的方法,对热蒸镀和磁控贱射制得的Insb薄膜进行热处理.X射线衍射和组织分析的结果表明:热处理前薄膜为Insb,In,Sb各相的混合物;重结晶后,基本为InSb单相,InSb晶粒呈规则状外形长大.热处理后室温下的电子迁移率大大提高,由原来的1.31×104cm2/(V·s)提高到4.47×104cm2/(V·s)(热蒸镀)和2.15×103cm2/(V·s)提高到2.04×104cm2/(V·s)(磁控溅射).

关键词:真空重结晶;薄膜制备;InSb薄膜;

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