基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第1期
论文作者：许宏科 邱彦章 文常保 吴媛 胡小东 巨永锋 刘君华 朱长纯
关键词：声表面波器件; WO3薄膜; SO2气体; 传感器; PVP;
摘 要：以金属钨粉,H2O2,CH3OH和PVP(聚乙烯吡咯烷酮)为原料,利用热喷射方法在双声路声表面波器件的测量声路上制作了细微多网孔状WO3薄膜,提出并实现了一种在常温下可以实现对二氧化硫(SO2)气体进行物理吸附和解吸附的基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器.声表面波器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,该传感器具有好的重复性,在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;传感器在0.5ppm到20ppm浓度范围内的线性灵敏度大约为6.8KHz/ppm.
许宏科1，邱彦章1，文常保1，吴媛2，胡小东2，巨永锋1，刘君华2，朱长纯2
(1.长安大学电子与控制工程学院,西安,710064;
2.西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049)
摘要:以金属钨粉,H2O2,CH3OH和PVP(聚乙烯吡咯烷酮)为原料,利用热喷射方法在双声路声表面波器件的测量声路上制作了细微多网孔状WO3薄膜,提出并实现了一种在常温下可以实现对二氧化硫(SO2)气体进行物理吸附和解吸附的基于WO3薄膜的双声路声表面波型SO2气体传感器.声表面波器件的双声路结构消除了由于外界测量条件改变引起的测量误差,也进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,该传感器具有好的重复性,在测量范围内对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性;传感器在0.5ppm到20ppm浓度范围内的线性灵敏度大约为6.8KHz/ppm.
关键词:声表面波器件; WO3薄膜; SO2气体; 传感器; PVP;
【全文内容正在添加中】
