氨气还原氮化法制备TiN薄膜及其SERS效应研究

陈颖¹，魏恒勇^1,2，董占亮¹，卜景龙¹，王瑞生¹，魏颖娜¹，林健²

1. 华北理工大学材料科学与工程学院分析测试中心河北省无机非金属材料重点实验室2. 同济大学材料科学与工程学院

摘 要：以四氯化钛乙醇溶液为钛源,采用氨气还原氮化法成功制备了TiN薄膜,利用XRD、RAMAN、FE-SEM、TEM、SAED及UV-VIS-NIR表征薄膜结构及光学性能。结果表明,TiN薄膜为NaCl型面心立方TiN晶体,膜厚在250nm左右。UV-VIS-NIR分析显示TiN薄膜在500nm附近出现了特征表面等离子体共振吸收峰。利用R6G作为探针分子研究了TiN薄膜拉曼增强效应,结果发现,TiN薄膜具有显著的拉曼增强效应,与空白石英基片相比,TiN薄膜对R6G增强因子为6.08×10³,检出限为10^-6 mol/L。

关键词：TiN;薄膜;SERS;