微分干涉在微流体温度场测量中的误差分析
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：张维 黎永前 唐虹
关键词：微流体; 温度测量; 微分干涉; 偏振相移;
摘 要：论文将微分干涉显微系统和偏振光相位偏移干涉技术相结合,实现微观流体温度场参数的测量.在介绍微分干涉显微测量原理的基础上,分析了光学系统的误差源,表明移相器的线性误差是影响测量结果的主要误差源;移相器的线性误差为1度,引起折射率误差为2×10-5,由此项误差引起的温度测量误差为0.3℃.在实验测量中,根据相位差与折射率的关系,通过计算得到微流体的温度场变化,实验结果与理论值相符合.
张维1，黎永前1，唐虹1
(1.西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072)
摘要:论文将微分干涉显微系统和偏振光相位偏移干涉技术相结合,实现微观流体温度场参数的测量.在介绍微分干涉显微测量原理的基础上,分析了光学系统的误差源,表明移相器的线性误差是影响测量结果的主要误差源;移相器的线性误差为1度,引起折射率误差为2×10-5,由此项误差引起的温度测量误差为0.3℃.在实验测量中,根据相位差与折射率的关系,通过计算得到微流体的温度场变化,实验结果与理论值相符合.
关键词:微流体; 温度测量; 微分干涉; 偏振相移;
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