蓝宝石晶片加工表面质量检测方法综述
来源期刊：超硬材料工程2011年第5期
论文作者：王吉翠 邓乾发 周兆忠 李振 袁巨龙
文章页码：51 - 55
关键词：蓝宝石晶片;表面损伤;检测;
摘 要：蓝宝石（α-Al2O3）晶体因其具有硬度高、熔点高等优良特性而在国防、航空航天、工业以及生活领域都得到广泛应用,蓝宝石晶片加工质量对其应用有着重要的影响。文章总结了蓝宝石晶片加工表面损伤常用的检测方法,并比较分析了这些检测方法的优缺点,提出了适用于加工需要的蓝宝石晶片表面损伤快速检测方案。
王吉翠1，邓乾发1,2，周兆忠1,3，李振1，袁巨龙1,2
1. 特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室2. 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心3. 衢州学院
摘 要：蓝宝石（α-Al2O3）晶体因其具有硬度高、熔点高等优良特性而在国防、航空航天、工业以及生活领域都得到广泛应用,蓝宝石晶片加工质量对其应用有着重要的影响。文章总结了蓝宝石晶片加工表面损伤常用的检测方法,并比较分析了这些检测方法的优缺点,提出了适用于加工需要的蓝宝石晶片表面损伤快速检测方案。
关键词：蓝宝石晶片;表面损伤;检测;
