光伏及LED行业用特种钼制品研究现状

来源期刊：中国钼业2016年第6期

论文作者：梁静

文章页码：1 - 3

关键词：钼溅射靶;钼管靶;旋压钼坩埚;

摘    要：钼溅射靶材以溅射薄膜方式被消耗,钼合金薄膜是目前信息存储、集成电路芯片、特别是平板显示器、薄膜太阳能电池、蓝宝石制造等行业中必不可少的关键材料。这些行业中用的特殊钼制品主要有钼溅射靶材,包括平面靶和管状旋转靶,制作结晶蓝宝石用的钼坩埚等。随着平面显示器面板(LCD)生产线不断向大型化发展,对平面溅射板靶的尺寸要求也越来越大。管状溅射靶材利用率理论上可达70%,大大高于平面靶20%~30%的利用率,因此降低了镀膜生产成本,是靶材发展的方向。大口径薄壁钼坩埚是蓝宝石晶体生长炉中常用的耗材,可大大降低电耗,节能效果明显,近年来得到了各厂商广泛使用。