碳纳米管互连的研究进展
来源期刊：功能材料与器件学报2012年第1期
论文作者：魏芹芹
文章页码：63 - 69
关键词：纳米材料;碳纳米管;综述;互连;
摘 要：随着集成电路的不断发展,电路中互连线规模越来越大,尺寸越来越小,需要承受的电流密度越来越大。在这种趋势下,传统的铜互连线的有效性和可靠性都随之变差。由于碳纳米管具有良好的电学,热学和机械性能,使其成为目前研究较热的互连材料之一。本文概述了碳纳米管用于集成电路互连的优势,碳纳米管互连的电路模型,碳纳米管互连面临的挑战及其最新的研究进展,并展望了碳纳米管作为集成互连的研究前景。
魏芹芹
北京大学深圳研究生院山东理工大学电气与电子工程学院
摘 要：随着集成电路的不断发展,电路中互连线规模越来越大,尺寸越来越小,需要承受的电流密度越来越大。在这种趋势下,传统的铜互连线的有效性和可靠性都随之变差。由于碳纳米管具有良好的电学,热学和机械性能,使其成为目前研究较热的互连材料之一。本文概述了碳纳米管用于集成电路互连的优势,碳纳米管互连的电路模型,碳纳米管互连面临的挑战及其最新的研究进展,并展望了碳纳米管作为集成互连的研究前景。
关键词：纳米材料;碳纳米管;综述;互连;
