分析室真空度对原子探针测试数据质量的影响

来源期刊：理化检验物理分册2015年第8期

论文作者：李慧 张悦悦 刘文庆

文章页码：555 - 559

关键词：原子探针层析;背底;分析室真空度;成分分析;

摘    要：根据三维原子探针的工作原理,分析了样品分析室内真空度对测试数据质量的影响,并对核反应堆压力壳钢样品进行了试验分析。结果表明:分析室内的真空度与获得试验数据的背底呈明显的线性相关关系,真空度越高,数据的背底越低;当数据背底高时,在成分分析过程中会引入较大的分析误差,且元素的含量越低,其分析误差越大,尤其当元素原子分数低于0.05%时,其分析误差会达100%以上。因此,稳定维持分析室的超高真空,对于获得高质量的试验数据至关重要。