纳米T膜形成过程的扫描隧道显微镜观察
来源期刊：金属学报2001年第2期
论文作者：杜昊 谢天生 孙超 闻立时 孟祥敏
关键词：磁控溅射; 纳米Ti膜; 扫描隧道显微镜(STM);
摘 要：用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米Ti膜.扫描隧道显微镜(STM)的观察结果表明,初期膜是由直径小于2 nm的形核粒子和粒子团聚体组成.粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构.随薄膜厚度增加,平均晶粒尺寸增加,形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响.
杜昊1，谢天生2，孙超1，闻立时1，孟祥敏2
(1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
2.中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室,沈阳,110016)
摘要:用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米Ti膜.扫描隧道显微镜(STM)的观察结果表明,初期膜是由直径小于2 nm的形核粒子和粒子团聚体组成.粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构.随薄膜厚度增加,平均晶粒尺寸增加,形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响.
关键词:磁控溅射; 纳米Ti膜; 扫描隧道显微镜(STM);
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