简介概要

化合物半导体材料加工中的三废防治

来源期刊：稀有金属1998年第6期

论文作者：杨钧

关键词：三废防治; GaAs; GaP;

摘要：讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.

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杨钧¹

(1.北京有色金属研究总院,北京,100088)

摘要:讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.

关键词:三废防治; GaAs; GaP;

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