Al2O3衬底上Pb（Zr,Ti）O3铁电薄膜的外延生长与性能
来源期刊：材料导报2012年第S1期
论文作者：郝兰众 刘云杰
文章页码：211 - 213
关键词：缓冲层;铁电;外延生长;
摘 要：以SrRuO3（SRO）作为缓冲层,利用脉冲激光沉积的方法,首次在蓝宝石（Al2O3）衬底上制备了PbZr0.52-Ti0.48O3（PZT）外延薄膜。利用X射线衍射分析得到了PZT薄膜与Al2O3衬底的外延关系,即（111）[110]PZT//（0001）[1010]Al2O3。所制备的PZT薄膜具有较强的铁电极化性能,饱和极化值达到138.3μC/cm2。同时,利用对电流-电压性质的测量研究了铁电极化的退反转现象。
郝兰众，刘云杰
中国石油大学(华东)理学院
摘 要：以SrRuO3（SRO）作为缓冲层,利用脉冲激光沉积的方法,首次在蓝宝石（Al2O3）衬底上制备了PbZr0.52-Ti0.48O3（PZT）外延薄膜。利用X射线衍射分析得到了PZT薄膜与Al2O3衬底的外延关系,即（111）[110]PZT//（0001）[1010]Al2O3。所制备的PZT薄膜具有较强的铁电极化性能,饱和极化值达到138.3μC/cm2。同时,利用对电流-电压性质的测量研究了铁电极化的退反转现象。
关键词：缓冲层;铁电;外延生长;
