磁控溅射ZrSiN涂层对钛瓷结合强度的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第4期
论文作者：张惠 宋忠孝 郭天文
关键词：扩散阻挡层; 结合强度; 钛瓷;
摘 要：探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性.结果表明:ZrSiN是含纳米结晶相ZrN和非晶相SiNx的纳米复合扩散阻挡层.无ZrSiN扩散阻挡层的钛经热循环后表面明显氧化,有ZrSiN扩散阻挡层处理后的钛表面经热循环后没有氧化钛,只有锆、硅、氮和氧元素,表明ZrSiN扩散阻挡层可有效阻挡钛在瓷烧结温度下氧化.三点弯曲试验表明ZrSiN涂层还可提高钛瓷结合强度.高硅含量的ZrSiN涂层处理的钛瓷结合强度更高,这与非晶相SiNx增多有关.
张惠1，宋忠孝2，郭天文1
(1.第四军医大学,陕西,西安,710032;
2.西安交通大学,电子物理与器件教育部重点实验室,陕西,西安,710049)
摘要:探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性.结果表明:ZrSiN是含纳米结晶相ZrN和非晶相SiNx的纳米复合扩散阻挡层.无ZrSiN扩散阻挡层的钛经热循环后表面明显氧化,有ZrSiN扩散阻挡层处理后的钛表面经热循环后没有氧化钛,只有锆、硅、氮和氧元素,表明ZrSiN扩散阻挡层可有效阻挡钛在瓷烧结温度下氧化.三点弯曲试验表明ZrSiN涂层还可提高钛瓷结合强度.高硅含量的ZrSiN涂层处理的钛瓷结合强度更高,这与非晶相SiNx增多有关.
关键词:扩散阻挡层; 结合强度; 钛瓷;
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