用于蓝宝石材料加工的新型超精密抛光技术及复合抛光技术研究进展

胡扬轩^1,2，邓朝晖^1,2，万林林^1,2，李敏^1,2

1. 湖南科技大学难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室2. 湖南科技大学智能制造研究院

摘 要：超精密抛光是一种降低表面粗糙度,获得高表面质量和表面完整性的加工技术。蓝宝石作为典型的难加工硬脆材料,传统抛光方法存在表面会产生崩碎、划痕等损伤,表面质量难以得到保证以及加工效率低等问题。本文综述了应用于蓝宝石材料的磁流变抛光、水合抛光、化学机械抛光和激光抛光等技术的原理与特点及其研究现状,并分析了各抛光技术的优缺点;从表面质量、磨料与磨液、效率与成本等方面对各抛光技术进行比较;介绍了复合抛光技术在蓝宝石材料中的应用;最后重点展望了蓝宝石材料超精密抛光技术的下一步研究。

关键词：蓝宝石材料;超精密抛光;去除材料机理;化学机械抛光;