退火温度和匀胶速率对SrBi_3.88Nd_0.12Ti_4O_(15)薄膜铁电性能的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2009年增刊第2期
论文作者：张丰庆 范素华 马建平 车全德 于冉
关键词：退火温度; 匀胶速率; 铁电性能; annealing temperature; spin-coating speed; ferroelectric properties;
摘 要：用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/ SiO_2/ Si基片上制备了SrBi_3.88 Nd_0.12 Ti_4O_(15)铁电薄膜材料,研究了退火温度和匀胶速率对铁电薄膜材料结构、铁电性能的影响.退火温度为750 ℃、匀胶速率为3000 r/min薄膜样品为纯的铋层状钙钛矿结构且没有其它杂相出现,a轴取向的晶粒较多,铁电性能较好,剩余极化强度和矫顽场分别为2P_r=26.7 μC/cm~2、2E_c=80 kV/cm.
张丰庆1，范素华1，马建平1，车全德1，于冉1
(1.山东建筑大学,山东,济南,250101)
摘要:用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/ SiO_2/ Si基片上制备了SrBi_3.88 Nd_0.12 Ti_4O_(15)铁电薄膜材料,研究了退火温度和匀胶速率对铁电薄膜材料结构、铁电性能的影响.退火温度为750 ℃、匀胶速率为3000 r/min薄膜样品为纯的铋层状钙钛矿结构且没有其它杂相出现,a轴取向的晶粒较多,铁电性能较好,剩余极化强度和矫顽场分别为2P_r=26.7 μC/cm~2、2E_c=80 kV/cm.
关键词:退火温度; 匀胶速率; 铁电性能; annealing temperature; spin-coating speed; ferroelectric properties;
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