衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构及光学性能的影响
来源期刊：材料导报2010年第S2期
论文作者：郭瑞 李东临 王怡 武光明 邢光建
文章页码：373 - 755
关键词：Mg0.1Zn0.9O薄膜;射频磁控溅射;衬底温度;光致发光(PL)谱;
摘 要：利用射频磁控溅射技术在不同温度的（100）Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg0.1Zn0.9O薄膜。通过X射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FESEM）、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg0.1Zn0.9O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能。用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg0.1Zn0.9O薄膜的室温PL谱。分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关。简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理。
郭瑞1,2，李东临2，王怡2，武光明2，邢光建2
1. 北京化工大学材料科学与工程学院2. 北京石油化工学院
摘 要：利用射频磁控溅射技术在不同温度的（100）Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg0.1Zn0.9O薄膜。通过X射线衍射（XRD）、场发射扫描电镜（FESEM）、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg0.1Zn0.9O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能。用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg0.1Zn0.9O薄膜的室温PL谱。分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关。简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理。
关键词：Mg0.1Zn0.9O薄膜;射频磁控溅射;衬底温度;光致发光(PL)谱;
