AAO模板快速制备方法探究

来源期刊：材料保护2019年第5期

论文作者：姜永军 许刚茜 刘学杰 李波

文章页码：97 - 216

关键词：AAO模板;电解液浓度;退火;多次氧化;

摘    要：为了快速制备出高度有序且孔径可调控的AAO(阳极氧化铝)模板应用于工业生产,通过改进传统的两步阳极氧化法,采用逐步提高电解液浓度的硬氧氧化法制备了AAO模板,并确定了最佳制备工艺为初始电解液浓度0.15 mol/L,添加电解液浓度0.40 mol/L,温度保持在5℃左右,无水乙醇添加比例为1∶1,从而使铝片的击穿电压从40 V上升到130 V左右(模板面积1.5 cm×4.5 cm),采用Dimension Edge型号的原子力显微镜(AFM)对多孔氧化铝模板进行了表征。结果表明:未经退火处理的铝片,也可以制备出高度有序的AAO模板,但其粗糙度略有增加,并与在高压条件下二次氧化、三次氧化、四次氧化制备AAO模板进行了比较,发现二次氧化制备的AAO模板有序度、孔径、孔间距均优于三次、四次氧化法。