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HP40钢表面沉积Al2O3薄膜及其抗结焦性能

来源期刊：腐蚀与防护2008年第3期

论文作者：程秀玲罗小秋黄志荣顾军孙启凤

关键词：Al2O3薄膜; 化学气相沉积; HP40钢; 结焦;

摘要：采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40)钢表面制备了Al2O3薄膜,通过EDS能谱分析和扫描电镜(SEM)测试分析了涂层的微观组织和表面形貌.结果表明,该薄膜在乙烯裂解的高温条件下抑制结焦率为65%左右,Al2O3薄膜大大提高了HP40钢的抗结焦能力.

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程秀玲¹，罗小秋¹，黄志荣¹，顾军¹，孙启凤¹

(1.华东理工大学,上海,200237)

摘要:采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在HP40)钢表面制备了Al2O3薄膜,通过EDS能谱分析和扫描电镜(SEM)测试分析了涂层的微观组织和表面形貌.结果表明,该薄膜在乙烯裂解的高温条件下抑制结焦率为65%左右,Al2O3薄膜大大提高了HP40钢的抗结焦能力.

关键词:Al2O3薄膜; 化学气相沉积; HP40钢; 结焦;

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