正反欧姆区间伏安特性对TiN薄膜微观结构及性能的影响
来源期刊:稀有金属材料与工程2016年第9期
论文作者:郝娟 蒋百灵 杨超 冯林 张彤晖
文章页码:2439 - 2443
关键词:反欧姆区;靶电流密度;Ti N薄膜;离化率;
摘 要:采用脉冲控制模式将气体放电伏安特性由磁控溅射离子镀的"正欧姆"区间引入到"反欧姆"区间,并在不同靶电流密度下制备了TiN薄膜。研究了正反欧姆区间伏安特性对薄膜微观结构及性能的影响。结果表明:在靶电流密度(Itd)大于0.2 A·cm-2的反欧姆区间,薄膜具有良好的表面质量和致密程度;且薄膜的硬度和膜/基结合强度分别由正欧姆区间Itd为0.11A·cm-2的9.9 GPa、4.5 N提升到反欧姆区间I-td为0.38 A·cm-2的25.8 GPa、18 N。
郝娟,蒋百灵,杨超,冯林,张彤晖
西安理工大学
摘 要:采用脉冲控制模式将气体放电伏安特性由磁控溅射离子镀的"正欧姆"区间引入到"反欧姆"区间,并在不同靶电流密度下制备了TiN薄膜。研究了正反欧姆区间伏安特性对薄膜微观结构及性能的影响。结果表明:在靶电流密度(Itd)大于0.2 A·cm-2的反欧姆区间,薄膜具有良好的表面质量和致密程度;且薄膜的硬度和膜/基结合强度分别由正欧姆区间Itd为0.11A·cm-2的9.9 GPa、4.5 N提升到反欧姆区间I-td为0.38 A·cm-2的25.8 GPa、18 N。
关键词:反欧姆区;靶电流密度;Ti N薄膜;离化率;