反应磁控溅射方法制备CN_x薄膜的高温抗氧化性能

来源期刊：机械工程材料2014年第5期

论文作者：陈向阳 张瑾 胡海霞 周哲波

文章页码：71 - 75

关键词：CNx薄膜;抗氧化性能;氮含量;反应磁控溅射;

摘    要：采用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了CNx薄膜,通过改变氮气和氩气的流量比来调整CNx薄膜中的氮含量,并采用XRD、HR-TEM、SEM、FTIR和显微硬度计等对薄膜的结构及其在300,400,500,600℃下的高温抗氧化性能进行了表征。结果表明:CNx薄膜在400℃以下具有较好的抗氧化性能,当氧化温度达到500℃后薄膜会发生严重氧化和分解;CNx薄膜中氮含量的增加有利于改善薄膜的高温抗氧化性能。