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TiO2薄膜光催化用于空气灭菌净化

来源期刊：功能材料2004年第4期

论文作者：许颖王文静方晓东万悦李永良

关键词：磁控溅射; 二氧化钛薄膜; 锐钛矿; 光催化;

摘要：用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.

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许颖¹，王文静¹，方晓东²，万悦³，李永良²

(1.北京市太阳能研究所,北京,100083;
2.北京市中科凯澜科技发展有限公司,北京,100054;
3.北京机械工业建设工程承发包公司,北京,100035)

摘要:用抛光铝合金作衬底在平行孪生靶的磁控溅射设备中制备出二氧化钛薄膜,薄膜厚度为500nm,XRD测量表明二氧化钛薄膜为锐钛矿型(anatase).该薄膜在紫外光源照射下,对甲苯、苯、二氧化硫及香烟气体有良好的降解作用;对大肠杆菌、金黄色葡萄糖菌有良好的去除作用.

关键词:磁控溅射; 二氧化钛薄膜; 锐钛矿; 光催化;

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