硅基磁电阻传感特性测试与分析
来源期刊：磁性材料及器件2013年第5期
论文作者：王芬
文章页码：60 - 62
关键词：磁传感器;磁电阻;性能;测试;
摘 要：磁电阻传感器是一类广泛应用的新型磁传感器,具有灵敏度高、体积小、功耗低及易集成的特点。介绍了三种硅基磁电阻传感器的工作原理,包括各向异性磁电阻(AMR)、巨磁电阻(GMR)、隧道磁电阻(TMR)传感器,分析比较了它们的芯片技术参数,并对部分特性参数进行了规范性的测试和分析,得到三种磁传感器的灵敏度、线性度、零漂等特性,为磁传感器应用开发人员设计提供性能参数参考。
王芬
宜昌测试技术研究所
摘 要：磁电阻传感器是一类广泛应用的新型磁传感器,具有灵敏度高、体积小、功耗低及易集成的特点。介绍了三种硅基磁电阻传感器的工作原理,包括各向异性磁电阻(AMR)、巨磁电阻(GMR)、隧道磁电阻(TMR)传感器,分析比较了它们的芯片技术参数,并对部分特性参数进行了规范性的测试和分析,得到三种磁传感器的灵敏度、线性度、零漂等特性,为磁传感器应用开发人员设计提供性能参数参考。
关键词：磁传感器;磁电阻;性能;测试;
