热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算
来源期刊：金属学报2001年第11期
论文作者：黄荣芳 孙超 汪爱英 闻立时 宫骏 王冰
关键词：热丝化学沉积; 金刚石膜; 温度场; 模拟计算;
摘 要：对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算.结果表明,通过优化参数,用80 mm×80 mm的热丝阵列可以获得76 mm×76 mm面积的均匀衬底温度区,进一步利用辅助热丝则可将均温区面积扩大到100 mm×100 mm.这些结果可以为沉积高质量、大面积金刚石膜的工艺参数提供理论依据.
黄荣芳1，孙超1，汪爱英1，闻立时1，宫骏1，王冰1
(1.中国科学院金属研究所,)
摘要:对热丝化学气相沉积(HFCVD)生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算.结果表明,通过优化参数,用80 mm×80 mm的热丝阵列可以获得76 mm×76 mm面积的均匀衬底温度区,进一步利用辅助热丝则可将均温区面积扩大到100 mm×100 mm.这些结果可以为沉积高质量、大面积金刚石膜的工艺参数提供理论依据.
关键词:热丝化学沉积; 金刚石膜; 温度场; 模拟计算;
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