二氧化钒薄膜的研究进展

张华^1,2，肖秀娣³，徐刚¹，柴冠麒¹，杨涛⁴

1. 中国科学院广州能源研究所,中国科学院可再生能源重点实验室2. 中国科学院大学3. 中国科学院广州能源研究,所中国科学院可再生能源重点实验室4. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室

摘 要：系统总结了VO₂薄膜常用的制备方法,并针对目前热色智能窗用VO₂薄膜存在的问题,如透过率低、调节率不理想等,详细综述了提高VO₂薄膜性能的工艺改进途径,包括沉积减反层、加入折射率小的材料、掺杂等,以揭示改善VO₂薄膜的最佳途径,为推进VO₂智能窗的实用化提供依据。

关键词：热色智能窗;VO₂薄膜;可见光透过率;太阳能调节率;