医用给药硅实心微针的切割与湿法刻蚀结合的制备工艺研究

李志彪¹，闫肖肖¹，唐刚^1,2，刘景全²

1. 江西省精密驱动与控制重点实验室南昌工程学院机械与电气工程学院2. 上海交通大学国家级微米纳米重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

摘 要：采用微针向生物体运送药物是经皮给药的重要方式,而微针的制备方法是其实现的关键。采用机械切割与化学湿法刻蚀相结合的方法研究制备硅实心微针。首先根据所需的微针形貌设计切割刀具,然后采用切割刀具根据一定的机械切割工艺得到微针阵列粗坯,在此基础上,采用化学刻蚀的方法刻蚀微针阵列粗坯得到所需的微针形貌,并获得微针制备的优化工艺参数。实验结果表明,该制备工艺可较好地控制微针的高度和形貌,且具有成本低、可实现大批量微针阵列制备的特点。

关键词：微针;切割;湿法刻蚀;