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化学气相沉积制备铂族金属涂层及难熔金属

来源期刊：贵金属2008年第2期

论文作者：欧阳远良蔡宏中陈力胡昌义王云魏燕

关键词：金属材料; 铂族金属薄膜; 难熔金属; 制备; 化学气相沉积;

摘要：综述了化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)技术制备高温抗氧化涂层-铂族金属(Pt、Ir)涂层及难熔金属(W、Mo、Ta、Nb、Re)的方法.并对部分有报道的沉积参数以及沉积参数对沉积层结构及性质的影响进行了介绍.

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欧阳远良¹，蔡宏中¹，陈力¹，胡昌义¹，王云¹，魏燕¹

(1.昆明贵金属研究所,云南,昆明,650106)

摘要:综述了化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)技术制备高温抗氧化涂层-铂族金属(Pt、Ir)涂层及难熔金属(W、Mo、Ta、Nb、Re)的方法.并对部分有报道的沉积参数以及沉积参数对沉积层结构及性质的影响进行了介绍.

关键词:金属材料; 铂族金属薄膜; 难熔金属; 制备; 化学气相沉积;

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