不同衬底上Ba_0.4Sr_0.6TiO₃铁电薄膜的制备及外延生长的研究

唐艳艳¹，高守宝²，尚杰³，张辉³

1. 潍坊学院物理与电子科学学院2. 山东师范大学物理与电子科学学院3. 昆明理工大学光电子新材料研究所

摘 要：利用脉冲激光沉积（PLD）技术,通过一系列实验成功地制备出了近外延生长的Ba_0.4Sr_0.6TiO₂铁电薄膜。研究了衬底对Ba_0.4Sr_0.6TiO₃铁电薄膜外延质量的影响。从摇摆曲线的半高宽（FWHM）及原子力显微镜（AFM）图谱中可以看出,在铝酸锶钽镧（LAST）衬底上生长的薄膜,外延质量明显比失配度更小的钛酸锶（STO）衬底上生长的要好,并不是传统认为的晶格失配度越小越好,分析其原因主要是因为小的失配不利于应力的释放造成的。

关键词：衬底;Ba_0.4Sr_0.6TiO₃铁电薄膜;脉冲激光沉积;外延生长;X射线衍射;原子力显微镜;