AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性
来源期刊：金属学报2013年第12期
论文作者：张立东 王飞 陈顺礼 汪渊
文章页码：1611 - 1616
关键词：高熵合金;双层扩散阻挡层;热稳定性;
摘 要：通过多靶共溅射的方法,制备了（AlCrTaTiNi）N和双层AlCrTaTiNi/（A1CrTaTiNi）N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明Cu/（A1CrTaTiNi）N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和（A1CrTaTiNi）N的粘附性.AlCrTaTiNi/（AlCrTaTiNi）N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.
张立东，王飞，陈顺礼，汪渊
四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室
摘 要：通过多靶共溅射的方法,制备了（AlCrTaTiNi）N和双层AlCrTaTiNi/（A1CrTaTiNi）N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明Cu/（A1CrTaTiNi）N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和（A1CrTaTiNi）N的粘附性.AlCrTaTiNi/（AlCrTaTiNi）N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.
关键词：高熵合金;双层扩散阻挡层;热稳定性;
