多弧离子镀制备硬质梯度薄膜技术
来源期刊：材料导报2006年第1期
论文作者：郑立允 周风云 熊惟皓 晏鲜梅
关键词：多弧离子镀; 金属陶瓷; 梯度薄膜; TiN;
摘 要：介绍了多弧离子镀在金属陶瓷表面沉积硬质梯度薄膜的技术,用X射线衍射法对表面形成的薄膜进行了物相分析,并对材料的金相显微组织、显微硬度、抗弯强度以及膜与基体的结合力进行了测试和分析.结果表明:多弧离子镀处理能在金属陶瓷表面形成硬质梯度薄膜,膜与基体的结合力良好,表面硬度大大提高,而材料的抗弯强度却没有发生变化.
郑立允1，周风云1，熊惟皓1，晏鲜梅1
(1.华中科技大学模具技术国家重点实验室,武汉,430074)
摘要:介绍了多弧离子镀在金属陶瓷表面沉积硬质梯度薄膜的技术,用X射线衍射法对表面形成的薄膜进行了物相分析,并对材料的金相显微组织、显微硬度、抗弯强度以及膜与基体的结合力进行了测试和分析.结果表明:多弧离子镀处理能在金属陶瓷表面形成硬质梯度薄膜,膜与基体的结合力良好,表面硬度大大提高,而材料的抗弯强度却没有发生变化.
关键词:多弧离子镀; 金属陶瓷; 梯度薄膜; TiN;
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