非晶碳/Mo2C混合膜的场发射特性
来源期刊：功能材料2005年增刊第1期
论文作者：鲁占灵 袁泽明 张兵临 王朝勇 方莉俐 邓记才 张新月 姚宁 赵永梅
关键词：场发射; 微波等离子体化学气相沉积; 非晶碳; Mo2C;
摘 要：以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.
鲁占灵1，袁泽明1，张兵临1，王朝勇1，方莉俐1，邓记才1，张新月1，姚宁1，赵永梅1
(1.郑州大学,材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052)
摘要:以镀有Mo过渡层的A12O3衬底,在微波等离子体增强化学气相沉积(MPCVD)系统中,制备了非晶碳/Mo2C混合结构薄膜,反应气体为CH4和H2.在高真空室中测量了样品场发射特性.开启场强为0.55V/μm,在1.8V/μm电场下样品的发射电流密度为6.8mA/cm2.发射点点密度＞103/cm2.用SEM观察了表面形貌,Raman和XRD谱分析了薄膜的微观结构和成分.实验结果表明该薄膜是一种好的场致电子发射体.
关键词:场发射; 微波等离子体化学气相沉积; 非晶碳; Mo2C;
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