基底负偏压对直流磁控溅射CrN薄膜择优取向及表面形貌的影响

来源期刊：功能材料2010年第6期

论文作者：谈淑咏 张旭海 李纪宏 吴湘君 蒋建清

文章页码：1015 - 1018

关键词：基底负偏压;择优生长;表面形貌;直流磁控溅射;

摘    要：直流磁控溅射法制备不同基底负偏压下的CrN薄膜,采用XRD分析薄膜相结构,EDS分析薄膜表面成分,SEM观察薄膜表面形貌,并对偏压作用机制进行了探讨。结果表明,当Ar流量6ml/min、N2流量30ml/min时,在基底负偏压增大过程中,CrN薄膜始终由CrN相组成,但薄膜生长发生了（111）（-50V）向（200）（-125V）再向无明显择优生长（-225V）的转变。低偏压时,CrN薄膜[111]向[200]取向转变主要是轰击表面氮离子浓度增加导致;高偏压时,薄膜中Ar浓度大幅增长,高能离子长时间轰击破坏晶粒取向性,使薄膜呈无择优取向。同时,负偏压增加使薄膜表面形貌从具有棱角的不规则形状逐渐变为粒状结构,且晶粒逐渐细小。