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磁控溅射Fe-N薄膜的结构和性能

来源期刊：材料研究学报2000年第6期

论文作者：赵春生田中卓李华飚常香荣顾有松乔祎李丹周剑平

关键词：磁控溅射; Fe-N膜; 饱和磁化强度; 矫顽力;

摘要：研究了氮流量对磁控溅射Fe-N薄膜的磁性和结构的影响.加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的.当氮的流量为1.0mL·min-1时,矫顽力Hc达到最小值205A/m.当氮流量为0.8mL.min-1时,饱和磁化强度达到Ms=2.36T.在Fe-N薄膜中未发现γ′-Fe4N和α″-Fe16N2.

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赵春生¹，田中卓¹，李华飚¹，常香荣¹，顾有松¹，乔祎²，李丹¹，周剑平¹

(1.北京科技大学;
2.北京科技大学新金属材料重点实验室)

摘要:研究了氮流量对磁控溅射Fe-N薄膜的磁性和结构的影响.加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的.当氮的流量为1.0mL·min-1时,矫顽力Hc达到最小值205A/m.当氮流量为0.8mL.min-1时,饱和磁化强度达到Ms=2.36T.在Fe-N薄膜中未发现γ′-Fe4N和α″-Fe16N2.

关键词:磁控溅射; Fe-N膜; 饱和磁化强度; 矫顽力;

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