简介概要

磁控溅射制备不锈钢薄膜研究

来源期刊：机械工程材料2004年第11期

论文作者：纪嘉明邵红红张晔

关键词：磁控溅射; 薄膜; 不锈钢;

摘要：研究了磁控溅射镀膜工艺参数中溅射功率、溅射时间以及真空度等对不锈钢薄膜制备的影响,通过对获得的不锈钢薄膜层进行金相分析与其他性能测试发现:试验中溅射功率为100W、溅射时间为2h、真空度为0.08Pa、氩气压力为1.5MPa的条件下制得的薄膜性能最佳.

详情信息展示

纪嘉明¹，邵红红¹，张晔¹

(1.江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江,212013)

摘要:研究了磁控溅射镀膜工艺参数中溅射功率、溅射时间以及真空度等对不锈钢薄膜制备的影响,通过对获得的不锈钢薄膜层进行金相分析与其他性能测试发现:试验中溅射功率为100W、溅射时间为2h、真空度为0.08Pa、氩气压力为1.5MPa的条件下制得的薄膜性能最佳.

关键词:磁控溅射; 薄膜; 不锈钢;

【全文内容正在添加中】