磁控共溅射Al-Pb合金薄膜中固溶度的扩展

来源期刊：材料导报2010年第10期

论文作者：郭中正 孙勇 李玉阁 周铖 彭明军

文章页码：10 - 13

关键词：Al-Pb合金薄膜;亚稳固溶体;扩展固溶度;磁控共溅射;

摘    要：利用磁控共溅射法在液氮冷却的衬底（LNCs）上制备了Al-Pb合金薄膜,运用EDX、XRD、TEM和SEM对薄膜成分、结构及形貌进行了研究。结果表明,Al-Pb薄膜在Pb含量为7.38%～2.73%（原子分数,下同）的宽范围内,均存在Al在Pb中的fccPb（Al）亚稳过饱和置换固溶体,固溶度与膜成分相关,随薄膜Pb含量的变化,固溶度在3.03%～5.31%Al之间变化,Al-48.9%Pb膜扩展固溶度最大（5.31%Al）,薄膜Pb含量降低或升高时,fccPb（Al）固溶体的固溶度下降。此结果与Miedema理论计算的Al-Pb系混合焓随Pb含量的变化趋势相似。低温衬底下Pb的体扩散弱化并导致相分离倾向降低是固溶延展的动力学原因。