脉冲磁控溅射MoS₂涂层的组织结构及摩擦学性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2019年第8期

论文作者：但敏 罗蓉蓉 周毅 李建 金凡亚

文章页码：2716 - 2722

关键词：单极性脉冲磁控溅射;MoS2;力学性能;摩擦学性能;

摘    要：采用单极性脉冲磁控溅射技术在A286基体表面制备MoS₂低摩擦系数涂层（LFC）。利用XRD、SEM等手段表征涂层的成分与微观组织;采用原位纳米力学测试系统、球-盘式摩擦磨损试验机分析涂层的力学和摩擦学性能,并探讨了脉冲偏压对涂层结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,脉冲偏压由300V增加到600V,MoS₂涂层择优取向发生了（002）向（100）转变,当脉冲偏压增至800 V时又恢复（002）择优取向;随着脉冲偏压的增加,涂层的硬度及弹性模量出现先减小后增大趋势,摩擦系数在0.065～0.076范围内波动,呈现出先增大后减小趋势;偏压为800 V的涂层摩擦学性能最佳,其磨损率仅为基体的13.5%。