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溶胶-凝胶法制备光学减反射膜的研究进展

来源期刊:材料科学与工程学报2016年第5期

论文作者:肖尧 陈烁 乔旭升 樊先平

文章页码:836 - 1639

关键词:减反射膜;溶胶-凝胶法;纳米结构;透过率;

摘    要:减反射膜可以有效降低光在传播过程中的损耗,应用在太阳能电池中能有效提高能量利用效率。减反射膜是一层折射率介于空气和基板之间的光学薄膜,能减少或消除光学元件表面的反射光,从而增加透光量,因此在光学研究中占有重要地位。溶胶凝胶法是当前材料制备的重要手段之一,与其他方法相比具有产物均匀、反应温度低、可调控性强等显著优点,是制备减反射膜的理想方法。本文介绍了溶胶-凝胶法制备减反射膜的原理,综述了近年来溶胶-凝胶法制备减反射膜的研究进展,特别是对溶胶-凝胶法制备的三类典型减反射膜作了深入讨论,总结了各种不同结构的优缺点,展望了溶胶-凝胶制备减反射膜的前景和面临的挑战。

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溶胶-凝胶法制备光学减反射膜的研究进展

肖尧,陈烁,乔旭升,樊先平

硅材料国家重点实验室浙江大学材料与工程学学院

摘 要:减反射膜可以有效降低光在传播过程中的损耗,应用在太阳能电池中能有效提高能量利用效率。减反射膜是一层折射率介于空气和基板之间的光学薄膜,能减少或消除光学元件表面的反射光,从而增加透光量,因此在光学研究中占有重要地位。溶胶凝胶法是当前材料制备的重要手段之一,与其他方法相比具有产物均匀、反应温度低、可调控性强等显著优点,是制备减反射膜的理想方法。本文介绍了溶胶-凝胶法制备减反射膜的原理,综述了近年来溶胶-凝胶法制备减反射膜的研究进展,特别是对溶胶-凝胶法制备的三类典型减反射膜作了深入讨论,总结了各种不同结构的优缺点,展望了溶胶-凝胶制备减反射膜的前景和面临的挑战。

关键词:减反射膜;溶胶-凝胶法;纳米结构;透过率;

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