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薄膜X射线应力分析的实验方法

来源期刊:理化检验物理分册2005年第9期

论文作者:刘毓舒

关键词:薄膜材料; X射线应力分析; 低掠入射X射线束; 三维定向模式; 测量方向;

摘    要:提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向.高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序.

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薄膜X射线应力分析的实验方法

刘毓舒1

(1.上海交通大学材料科学与工程学院,教育部高温材料及测试开放实验室,上海,200030)

摘要:提出一种适用于薄膜材料X射线应力分析的试样三维定向模式,在X射线低掠入射的前提下允许按实验所需选择测量方向.高密勒指数晶面衍射和测量方向的合理选择有助于提高测量精度,也利于经典sin2ψ分析法实验线性关系的建立,从而简化了分析和计算程序.

关键词:薄膜材料; X射线应力分析; 低掠入射X射线束; 三维定向模式; 测量方向;

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