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在柠檬酸中制备大孔径阳极氧化铝模板的方法

来源期刊:昆明理工大学学报(自然科学版)2010年第5期

论文作者:吴永军 董鹍 冯超 张鹏翔

文章页码:15 - 38

关键词:阳极氧化铝模板(AAO);柠檬酸;大孔径;电离常数;

摘    要:现有的报道普遍认为柠檬酸作为阳极氧化铝的反应溶液只能制备出致密型的氧化铝膜。笔者发现柠檬酸作为反应溶液在350V直流电压下可制备出孔径600nm左右的多孔型的阳极氧化铝模板(AAO)模板.通过与以往研究结果比较发现要想获得较大孔径的AAO模板需要选择较小电离常数的酸液.在去除阻挡层时,磷酸腐蚀了模板的反面,导致模板反面的孔径大约是正面孔径的一倍.

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在柠檬酸中制备大孔径阳极氧化铝模板的方法

吴永军,董鹍,冯超,张鹏翔

昆明理工大学光电子新材料研究所

摘 要:现有的报道普遍认为柠檬酸作为阳极氧化铝的反应溶液只能制备出致密型的氧化铝膜。笔者发现柠檬酸作为反应溶液在350V直流电压下可制备出孔径600nm左右的多孔型的阳极氧化铝模板(AAO)模板.通过与以往研究结果比较发现要想获得较大孔径的AAO模板需要选择较小电离常数的酸液.在去除阻挡层时,磷酸腐蚀了模板的反面,导致模板反面的孔径大约是正面孔径的一倍.

关键词:阳极氧化铝模板(AAO);柠檬酸;大孔径;电离常数;

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