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多晶硅硅棒裂纹产生原因分析及控制方法

来源期刊：材料开发与应用2015年第3期

论文作者：周文韬辜锋何书玉

文章页码：78 - 80

关键词：多晶硅;还原工艺;硅棒裂纹;裂纹控制;

摘要：对多晶硅还原工艺中硅芯机加工、硅芯清洗、硅芯安装、还原炉气体置换、硅芯沉积生长过程、以及停炉过程等操作环节中硅棒裂纹产生的原因进行了分析,并提出了硅棒裂纹控制方法。

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周文韬，辜锋，何书玉

昆明冶研新材料股份有限公司

关键词：多晶硅;还原工艺;硅棒裂纹;裂纹控制;