PZT系多层片式压电陶瓷微驱动器位移性能研究
来源期刊：无机材料学报1999年第3期
论文作者：殷庆瑞 李国荣 陈大任
关键词：流延; 多层片式压电陶瓷微驱动器; 位移;
摘 要：采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜/金属内电极共烧技术, 制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器. 该器件具有体积小、工作电压低、位移量大(38V,1.05μm)的特点. 本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性,从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究.
殷庆瑞1，李国荣2，陈大任1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050;
2.中国科学院无机功能材料开放实验室)
摘要:采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜/金属内电极共烧技术, 制作了多层片式高含铅PZT软性压电陶瓷微驱动器. 该器件具有体积小、工作电压低、位移量大(38V,1.05μm)的特点. 本文对制作的多层片式器件在直流和单向交流工作电压的作用下产生的静态和动态位移特性,从PZT压电陶瓷材料的晶体和电畴结构特点进行了分析和研究.
关键词:流延; 多层片式压电陶瓷微驱动器; 位移;
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