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SiC/Si3N4复合纳米粉的微观结构与形态

来源期刊:材料与冶金学报2006年第3期

论文作者:李慧莉 陈岁元 刘常升 刘芳

文章页码:195 - 198

关键词:激光合成;SiC/Si3N4复合纳米粉;微观结构;

摘    要:用X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和图像分析等分析手段,对激光诱导六甲基乙硅胺烷加氨气气相合成纳米陶瓷粉进行了结构分析及表征.结果表明:利用激光诱导六甲基乙硅胺烷合成出了理想的纳米陶瓷粉,实验制备的粉体由非晶态相和少量晶态相组成,颗粒形状规则呈球形;其微粒粒径多为1020 nm范围,大部分分散性较好,粉中无游离的硅生成;主要相为非晶态结构的S iC和S i3N4组成,少量晶态相为-αS iC、-βS iC和S i3N4.在可控制备工艺条件下能够合成理想的非晶纳米S iC粉体.

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SiC/Si3N4复合纳米粉的微观结构与形态

李慧莉,陈岁元,刘常升,刘芳

摘 要:用X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)和图像分析等分析手段,对激光诱导六甲基乙硅胺烷加氨气气相合成纳米陶瓷粉进行了结构分析及表征.结果表明:利用激光诱导六甲基乙硅胺烷合成出了理想的纳米陶瓷粉,实验制备的粉体由非晶态相和少量晶态相组成,颗粒形状规则呈球形;其微粒粒径多为1020 nm范围,大部分分散性较好,粉中无游离的硅生成;主要相为非晶态结构的S iC和S i3N4组成,少量晶态相为-αS iC、-βS iC和S i3N4.在可控制备工艺条件下能够合成理想的非晶纳米S iC粉体.

关键词:激光合成;SiC/Si3N4复合纳米粉;微观结构;

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