面向微泵的微型扩散/收缩管的优化设计
来源期刊:功能材料与器件学报2008年第1期
论文作者:于晓梅 李修函 黄杰西
关键词:微泵; 扩散/收缩泵; 扩散/收缩管; 鳞片;
摘 要:微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化.本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构.基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%.
于晓梅1,李修函1,黄杰西1
(1.北京大学微电子研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;
2.北京交通大学电子工程系)
摘要:微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化.本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构.基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%.
关键词:微泵; 扩散/收缩泵; 扩散/收缩管; 鳞片;
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