流延法制备AlN陶瓷基板的研究
来源期刊：无机材料学报2001年第2期
论文作者：庄汉锐 张擎雪 邬凤英 曹峻
关键词：氮化铝基板; 流延成型; 假塑性流体; 二次排胶; 沿晶断裂;
摘 要：从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜.二次排胶有利于排除AlN流延素坯膜中的残余碳.烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善，无明显开气孔，断裂模式为沿晶断裂.
庄汉锐1，张擎雪1，邬凤英1，曹峻1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,)
摘要:从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明，颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜.二次排胶有利于排除AlN流延素坯膜中的残余碳.烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善，无明显开气孔，断裂模式为沿晶断裂.
关键词:氮化铝基板; 流延成型; 假塑性流体; 二次排胶; 沿晶断裂;
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