多弧离子镀Ti-W-N多元多层膜的研究
来源期刊：材料科学与工艺2000年第3期
论文作者：黄拿灿 吴起白 曾鹏 谢光荣 胡社军
关键词：多弧离子镀; Ti-W-N多元膜; 多层膜; 组织与性能;
摘 要：采用Ti/W复合靶,用多弧离子镀技术沉积了Ti-W -N多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:在本试验条件下多元膜的结构形式为(Ti, W)2N,最佳多层膜的结构形式为基体/Ti/TiN/(TiyW1-y )N/(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和极低的孔隙率,在800 ℃具有很好的抗氧化性能.在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.
黄拿灿1，吴起白1，曾鹏1，谢光荣1，胡社军1
(1.广东工业大学,机械系金属材料研究室,广东,广州,510643)
摘要:采用Ti/W复合靶,用多弧离子镀技术沉积了Ti-W -N多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:在本试验条件下多元膜的结构形式为(Ti, W)2N,最佳多层膜的结构形式为基体/Ti/TiN/(TiyW1-y )N/(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和极低的孔隙率,在800 ℃具有很好的抗氧化性能.在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.
关键词:多弧离子镀; Ti-W-N多元膜; 多层膜; 组织与性能;
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