DLC膜在磨损、表面改性及力电耦合作用下损伤特性
来源期刊：材料科学与工艺2006年第5期
论文作者：季诚昌 朱守星 丁建宁 朱世根
关键词：AFM; DLC; 表面改性; 力电耦合;
摘 要：为评价超薄类金刚石(DLC)膜在使用过程中的安全状况,利用原子力显微镜(AFM)的多模式功能,从磨损、表面改性、力电失效3个方面对DLC膜进行了试验研究.研究结果表明:相同法向力作用在不同厚度薄膜的磨损深度不同;对DLC膜的形貌和电学特性进行比较发现,磨损区域导电性比未磨损区域强;在厚度为64.09 nm薄膜施加正向25 V电场作用下,当针尖作用在表面的压力超过一定临界压力(375 nN)之后, 薄膜发生击穿,形成凹坑.
季诚昌1，朱守星2，丁建宁3，朱世根2
(1.东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051;
2.东华大学,机械工程学院,上海,200051;
3.江苏大学,机械工程学院,江苏,镇江,212013)
摘要:为评价超薄类金刚石(DLC)膜在使用过程中的安全状况,利用原子力显微镜(AFM)的多模式功能,从磨损、表面改性、力电失效3个方面对DLC膜进行了试验研究.研究结果表明:相同法向力作用在不同厚度薄膜的磨损深度不同;对DLC膜的形貌和电学特性进行比较发现,磨损区域导电性比未磨损区域强;在厚度为64.09 nm薄膜施加正向25 V电场作用下,当针尖作用在表面的压力超过一定临界压力(375 nN)之后, 薄膜发生击穿,形成凹坑.
关键词:AFM; DLC; 表面改性; 力电耦合;
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